图7及表2:Innovalight最新研究结果


5、CT公司SE工艺,CT公司采用了一种叫“一次扩散”的工艺,利用薄介质层做掩膜,将与电极接触的区域进行去掩膜处理,然后在扩散炉中,利用掩膜层对POCL3的局部阻挡效应,在电极区形成重掺杂区,在掩膜区形成轻掺杂区。

        图8显示了CT公司典型的SE工艺流程,该工艺流程较简单。据文献报道,该工艺已经获得了18.3%左右的电池转换效率。详细的I-V参数见表3。

特点:该电池工艺采用一次扩撒工艺,工艺简单,但是需要解决介质层的均匀性问题,以及如何匹配浓扩与淡扩散的关系,优化浓扩区开孔的尺寸。

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