网友解答 guan01cn
非晶硅用SnO2:F玻璃,目前主要是CVD方式制造,难度在于大面积沉积均匀性控制,国内还没有掌握技术。目前,国内只有漳州中国科技和普乐再做用CVD做SnO2:F玻璃。漳州中国科技已经有产品供给源畅试用,普乐的还在调试中。不过这两家公司的SnO2:F玻璃产量,远远满足不了国内市场的需求。如果采用溅射方式做SnO2玻璃,但因SnO2本征不导电,需要对靶材进行掺杂,具体要掺杂什么,掺杂多少,还在实验中。
非晶硅用TCO玻璃有4种 FTO(SnO2:F)、AZO、 ITO 、GZO。
FTO(SnO2:F) (CVD)
CVD沉积SnO2:F,需要在玻璃软化状态下进行,FTO沉积所需的高能耗决定了FTO非晶硅生产商不能生产.另外大面积沉积均匀性的控制技术也限制了FTO的大批量生产.
AZO (sputter)
非晶硅前电极和背电极都有应用到AZO,但需要了解的是非晶硅所用的AZO,不是单纯的氧化锌铝。一定掺杂有第三元素,并且前电极和背电极所掺杂的元素是不相同的, 前电极和背电极对AZO膜层的要求也是不一样的。
ITO (Sputter)
ITO多用于弱光型非晶硅,因为ITO耐候性较差,PECVD沉积硅的时候,在500多°的高温状态下,ITO膜层的电阻会升高,透过率 |
也会下降。关于耐候行方面,AZO要比ITO好的多。
GZO(Sputter)
只有日本一家公司在做, GZO方面的资料是保密的,不方便提供技术支持。 |