图七:不同退火温度B掺杂Fz硅片的表面有效复合速度,(a)500度,(b)600度
总上,上面提及的这些钝化技术在不同的公司和机构已经有广泛的应用,对于何种技术更适合于电池性能的提升,成本的下降,取决于各公司电池的结构和各公司所使用的机台、工艺条件,不同的钝化技术及机台都会产生非常大的差异,例如:CT与R&R钝化的差异,这一点相信大家都非常清楚。除了上述简单钝化技术外,业内还一些上述钝化技术交叉的一些技术,这里将不再赘述。