图四显示了不同表面钝化技术制备的N型电池的IQE曲线，从图上可以看出（硼扩散结在前面），氮化硅钝化可以提高电池的长波响应，增加电池的性能（表三）。 此外，相比氮化硅钝化技术，氧化硅\氮化硅叠层钝化技术可以大幅度提升电池的短波和长波响应，即：提升了电池的表面钝化和体钝化；

表二：干氧氧化与PECVD氮化硅性能对比

图三：不同表面钝化技术制备N型电池的IQE曲线

图四：N型电池结构原理图（a）寿命样品，（b）器件结构

表三：不同钝化层N型电池的性能参数表