1. 　　 除了上述传统的2层叠层钝化电池外，目前业内开始出现三层叠层钝化技术，如氧化硅-氮化硅-氧化硅（ONO）。图五显示了ONO有比氮化硅-氧化硅（SO）薄膜更低的表面复合速度，换言之，如果利用ONO作为电池的表面钝化层做成电池的转换效率比SO层作为表面钝化层的要高，这一点已经被试验所证实。此外，利用PECVD直接沉积SI-O-N薄膜的技术已经开始在试验开展，初步已经获得了与氮化硅钝化效率接近的电池（表四）图五：不同层数钝化层薄膜电池表面复合速度

表四：不同钝化膜电池电性能参数对比表

3.氧化铝钝化技术；

自从Hoex获得了23.4%的N型电池转换效率以来，关于氧化铝薄膜钝化技术的研究引起了空前的反响。表五显示了Hoex电池的一些电性能特点，该电池的获得了将近700mV的Voc,其IQE曲